真空泵博客

sem扫描电镜的应用,扫描电镜如何使用

真空系统扫描电子显微镜的应用扫描电子显微镜广泛应用于半导体、实验室等领域。扫描电子显微镜也有助于高真空系统。电子显微镜真空系统的高度由分子泵和前置泵组成。分子泵一般采用脂润滑或磁悬浮分子泵,前置泵采用双级油旋片真空泵或无油旋涡泵作为前置泵。前级泵帮助分子泵运行。在启动分子泵之前,前级泵将空腔泵至10pa。分子泵启动后,系统被泵至约-3pa~-4pa。

扫描电子显微镜是一种新型的电子光学仪器,自20世纪60年代作为商用电子显微镜引入以来发展迅速。它广泛应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检测等各个研究领域和工业部门。

在材料领域,扫描电子显微镜发挥着极其重要的作用,广泛应用于各种材料的形貌、界面、损伤机理和材料性能预测的研究。扫描电子显微镜可用于直接研究晶体缺陷及其产生过程,观察金属材料中原子的聚集模式及其真实边界,观察不同条件下的边界运动模式,以及检查表面加工过程中晶体引起的损伤和辐射损伤。

真空系统扫描电镜中的产品特征是什么?

应用于扫描电子显微镜的真空系统具有样品制备简单、放大倍数可调范围宽、图像分辨率高、景深大、保真度高和真实三维效果的特点。对于导电材料,可以直接放入样品室进行分析,而对于导电性或绝缘性较差的样品,则需要喷涂导电层。

真空系统主要包括真空泵和真空塔。真空柱是一个密封的圆柱形容器。真空泵用于在真空柱中产生真空。有三类机械泵,油扩散泵和涡轮分子泵。机械泵、油扩散泵的组合可以满足装有钨丝枪的扫描电子显微镜的真空要求,但对于装有场发射枪或六硼化镧和六硼化铈枪的扫描电子显微镜,需要机械泵和涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统都内置在真空柱中。真空柱的底端是右侧所示的样品室,用于放置样品。

扫描电子显微镜大致可分为镜体和电源电路系统。镜体部分由电子光学系统、信号采集与显示系统和真空泵系统组成。东莞真空系统一般要求保持10-4 ~ 10-5托的真空度,以保证电光系统的正常运行,防止样品污染。

扫描电子显微镜需要真空的原因包括:首先,电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化失效,因此需要抽真空。第二是增加电子的平均自由程,以便更多的电子用于成像。

真空系统扫描电子显微镜的应用可以通过用电子束扫描物体表面来成像。空气的存在会改变电子束,影响扫描效果。因此,有必要使用真空系统真空泵。如果您对真空系统感兴趣,您可以拨打我们的客户热线。

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