真空泵博客

真空泵在半导体的应用,真空泵在半导体行业的应用

旋片真空泵因其清洁无污染、泵速范围宽、节能性好、稳定性好、维护方便等优点而被广泛应用于半导体行业。真空用于半导体技术主要用于蒸发、溅射、PECVD、真空干法刻蚀、真空吸附、测试设备、真空清洗等键合工艺。今天的技术人员在这里推广旋片真空泵半导体技术应用中不可忽视的安全问题。

半导体材料可以分为两类:元素半导体和化合物半导体。元素半导体是指由硅和锗的单一元素形成的半导体,化合物半导体是指由砷化镓和磷化铟等化合物形成的半导体。砷化镓的电子转移率比硅高5.7倍,非常适合高频电路。

半导体制造过程中容易产生易燃、易爆、有毒物质和气体,对生产和人员安全构成威胁。因此,旋片真空泵半导体技术应用中的几个安全注意事项主要包括以下几点:

1.定期清洁旋片真空泵和其他附件、过滤器和管道,以避免过压;

当德国旋片真空泵用于半导体时,当介质通过反应室和真空泵在介质提取过程中时,介质的成分可能极其复杂。例如,四氯化硅和氧气在泵口形成二氧化硅,而四氯化钛水解形成氯化氢;假设是油封机械泵,这些气体物质也可能与泵油发生反应。这些变化假设颗粒、可冷凝物或腐蚀性介质的形成可能堵塞真空泵或管道系统,影响真空泵性能,导致压力上升或过压,并且第一点中提到的风险更大。因此,有必要及时清理,必要时设置过滤设备。

2、有效稀释有害气体的浓度;

半导体容易产生上述易燃、易爆和有毒的有害气体。因此,在应用半导体真空泵期间,当提取这些介质时,必须防止在真空泵或排气过程中发生一些不可控的反应。例如,当与空气或氧气接触时,SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物质会引起燃烧甚至爆炸。当空气中氢的混合比例达到一定程度和温度时,也会发生燃烧。这些都取决于物质的数量及其与环境压力和温度的关系。因此,当提取这些介质时,半导体真空泵需要使用惰性气体,例如氮气,即在压缩之前在当前条件下将这些气体稀释到安全范围。

3、注意氧气的浓度;

如果空气中的氧气浓度过高,也会发生燃烧和爆炸的危险。因此,在某些情况下,应注意氧气的浓度,并应使用惰性气体稀释氧气,以防止浓度过高。假设油封机械泵可能需要使用一些与氧气相容的惰性真空泵油,并及时更换滤油器和油品。

4、防止温度过高;

在半导体真空泵的应用中,有许多有害气体。但是,无论是干式真空泵还是油封机械泵,如果泵室内温度过高,易燃易爆气体和有毒气体在高温下很容易产生危险。

以上四个方面是旋片真空泵在半导体技术应用过程中最重要的安全问题。我们不能忽视它们。技术人员说,小问题与操作、产量、效率和安全有关。要想工作更顺利,就要延长真空泵的使用寿命,力求协调平衡,确保效率和安全。

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