真空泵博客

水环式真空泵的工作原理,水环式真空泵2bec72

1.水环式真空泵的工作压力应满足真空设备和工作压力的要求。例如,真空镀膜需要110-5毫米汞柱的真空,并且所选择的水环式真空泵真空必须至少为510-6毫米汞柱。通常,泵的真空被选择为比真空装置的真空高一半到一个数量级。

2.水环式真空泵工作点的正确选择。每个泵都有一定的工作压力范围。例如,分散泵为10-3至10-7毫米汞柱。在如此宽的压力范围内,泵的泵速随压力变化,稳定工作压力范围为510-4。510-6mmHg。因此,泵的工作点应选择在此范围内,不允许在10-8兆欧以下长时间运行。另一个例子是钛增压泵可以在10-2mhG下工作,但是工作压力应该小于110-5mhG。

3.水环式真空泵真空设备过程中产生的所有气体应在其工作压力下清除。

4.正确组合水环式真空泵。因为水环式真空泵具有选择性泵送功能,有时不可能使用泵来满足泵送要求。有必要将几个泵组合起来,并相互补充,以满足泵送要求。例如,钛增加了泵对氢的高泵送速度,但它不能泵送,而三极溅射离子泵(或双极不对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的泵送速度。当结合使用时,真空设备将具有更好的真空度。此外,有些水环式真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;一些水环式真空泵出口压力低于大气压力,需要前置泵,因此需要将泵组合在一起。

5.真空设备需要油污染。如果设备严格要求无油,应选择各种油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵和低温泵。如果要求不严格,可以选择油泵,并可以增加一些油污方法,如增加冷阱、挡板、油阱等。这也可以满足真空要求。

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