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水环式真空泵的工作原理,水环式真空泵2bec72

水环式真空泵的主要应用优势由水环式真空泵的制造商描述如下

1.真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如,真空镀膜需要110-5毫米汞柱的真空度,并且所选择的真空泵真空度应该至少为510-6毫米汞柱。通常,所选泵的真空度比真空设备的真空度高一半到一个数量级。

2.正确选择真空泵工作点。每台泵都有一定的工作压力范围,例如扩散泵为10-3 ~ 10-7兆欧。在如此宽的压力范围内,泵的泵速随压力变化,其稳定工作压力范围为510-4~510-6mmHg。因此,泵的工作点应选择在此范围内,不允许在10-8兆欧以下长时间工作。另一个例子是钛升华泵可以在10-2mHg下工作,但是其工作压力应该小于110-5mHg。

3.真空泵在其工作压力下,应能排出真空设备过程中产生的所有气体。

4.正确组合真空泵。因为真空泵具有选择性抽吸,有时一个泵不能满足抽吸要求,需要将几个泵组合起来以相互补充来满足抽吸要求。例如,钛升华泵对于氢气具有较高的泵送速度,但是不能泵送氦气,而三极溅射离子泵(或双极不对称阴极溅射离子泵)对于氩气具有一定的泵送速度,并且两者的结合将导致真空装置具有更好的真空度。此外,有些真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有些真空泵的出口压力低于大气压力,需要前置泵,因此所有泵都需要组合使用。

5.真空设备对油污染的要求。如果设备严格要求无油,应选择各种油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择油泵,并采取一些防止油污染的措施,如增加冷阱、挡板、油阱等。也能满足清洁真空的要求。

6.了解要泵送的气体的成分。该气体不含可冷凝蒸汽、无颗粒粉尘、无腐蚀性等。当选择真空泵时,需要知道气体成分并为泵送的气体选择相应的泵。如果气体含有蒸汽、颗粒和腐蚀性气体,应考虑在泵的入口管道上安装辅助设备,如冷凝器和集尘器。

7.真空泵排放的油蒸汽如何影响环境?如果环境不允许污染,可以选择无油真空泵,或者将油蒸气排放到室外。

8.真空泵工作中产生的振动是否对过程和环境有影响。如果工艺流程不允许,应选择无振动泵或采取防振措施。

9.真空泵价格、运营和维护费用。

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