真空泵博客

微型吸气泵,小型吸气泵

接下来,真空泵机组制造商将推出真空泵机组非蒸散抽吸泵。

非蒸发式抽吸泵主要由锆铝合金抽吸材料制成(84%锆,16%铝),在高温下吸收活性气体。该泵具有结构简单、体积小、成本低、运行安全可靠、维护方便、清洁无油的优点。它对活性气体,尤其是氢气有很高的泵送能力。然而,惰性气体不能被泵送。此外,还有一种锆钒铁

作为吸气剂的合金材料(70%锆、24.6%钒、5.4%铁)的活化温度为450,室内有较大的活性气体抽速。锆铝泵对氢及其同位素氘和氚的抽吸是可逆的,而其它活性气体的抽吸则扩散到具有稳定化学物质的吸气剂体内,但存在饱和寿命问题。在10-8~1Pa的压力范围内,绿色萃取率几乎不变。当压力低于10-3Pa时,气体活性气体一氧化碳、二氧化碳、氧气、N2、H2O等的吸出率在400达到饱和。

泵对活性气体的抽吸率随着吸气剂抽吸量的增加而降低。当吸入率随着吸入量的增加达到标称吸入率的80%时,应在高温下重新进行处理。激活的次数通常可以达到20次。该泵可用于在受控装置中储存和释放H2及其同位素氘和氚。与高加速器真空系统中的分子泵或溅射离子泵同时工作,可以提高真空系统的极限真空;它也可以用来运输H2及其同位素。在超高真空设备中使用时,与设备一起放入烘烤设备中,烘烤时可作为维护泵使用,无需外部电源;它也可以用来激活溅射离子泵。

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