真空泵厂

汽车真空泵的工作原理,抽气真空泵的工作原理

由真空泵单元真空系统方案解决的行业领先局限于技术瓶颈。以罗茨泵为前级泵,普通涡轮分子泵为主泵的传统真空机组(即罗茨泵机组仍不能很好地解决真空室污染问题。为此,甲方单位委托哈尔滨工业大学现代设计实验室对课题进行前期研究,并提出解决方案。根据真空环境的技术要求,提出并分析了超净分子泵组的概念。该装置的设计和后期开发将有利于获得超净真空环境,为申光三期工程后续任务的顺利实施提供技术保障。物理学中的真空是指没有或排除气体分子和原子的空间。从工程技术的角度来看,在工业应用中,当容器中的压力低于标准状态时(当1摩尔气体分子在0下的体积为22.4升时),真空通常指大气压(1.01105帕)。通常,真空环境是根据真空度来区分的。对于超高真空,泄漏和放气的影响尤其严重,因为此时空间气体的分子数密度已经非常小。任何泄漏和放气都会导致更大的压力增加。泄漏和除气的来源主要包括表面吸附、体内扩散和逃逸、大气渗透、材料的蒸汽压以及其他相关因素。 正常情况下,真空室内产生的气流应由主泵及时抽出,以保证真空室内的压力负荷和工作真空度的要求。亚真空室中泵送气体的类型和比例满足真空环境的指标要求。由于KDP晶体的物理特性和激光传输的误差,在100级洁净室中组装申光终端光学元件需要真空机组超高洁净真空,这要求其内部真空环境没有油和其他碳氢化合物污染。与普通机械轴承和其他精密陶瓷相比,磁力轴承分子泵采用磁力轴承作为工作轴承,不需要润滑油和油脂,避免了有机物对KDP晶体的污染,满足了终端部件的真空环境要求。主泵和前泵的泵速初步配置完成后,必须选择合适的前泵类型,前泵应遵循以下原则:第一,前泵应保证主泵排出的气流能及时排出;第二,前级泵应能使主泵出口压力低于主泵最大工作压力;同样,兼作预抽泵的前级泵应满足预抽时间的要求。
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