真空泵厂

真空泵真空,真空泵,真空机组

真空泵很明显,在气流沿螺旋通道运动的过程中,流线经历了一个从稀疏到密集的过程,真空截面越高,越集中在凸台真空泵单元的侧壁上。因此,侧壁附近的压力比同一x-y截面的其他地方的压力大。这定性地说明了本文研究的同一流动通道不同截面上的高低压比的变化规律。由于吸力端凸台侧壁流线集中,流道设计可考虑变宽螺旋槽方法,即凸台高度和槽宽在端部逐渐减小。一方面,在保证吸气速度的同时提高压缩比是有益的,另一方面,它起着气流反压的作用。此外,进气口处凸台中心的存在使流线在一定程度上转向。另一方面,这种结构将减少进入螺旋通道的气流,因此可以考虑将进气口的凸台中心转变成圆角。以区域A的速度矢量图为例,可以发现大部分气体分子沿螺旋槽向出气口移动,而一小部分通过凸台与转子之间的间隙向外移动,说明牵引分子泵存在间隙泄漏问题。从区域A的三维流线图来看,间隙的存在并没有使进气口h’区域的气流沿着间隙空间直接向出气口移动。

但是在沿着轴的不同部分被带入螺旋槽,并且螺旋槽中的一小部分气体在运动过程中进入间隙区域。理论上,转子和定子之间的间隙越小,相同尺寸的螺旋槽所能达到的压缩比就越大。由于加工和制造水平的限制,不能实现零间隙,只能尽可能小。涡轮分子泵作为H-100无油真空机组的主泵,决定了机组的最终真空度和清洁度。高速旋转涡轮叶片转子采用五自由度磁轴承支撑系统。当转子高速旋转时,由于质量偏心,会发生振动甚至共振,可能会造成转子和定子叶片的碰撞和损坏事故。此外,薄叶片可能在重力和离心力的作用下变形或失效。为了使设计更加合理,有必要对转子和叶片进行动态分析,以验证叶片转子结构的可靠性和安全性。当子泵工作时,刚性主轴将旋转,叶片转子将以一定频率振动。此外,高速运动的叶片会由于离心载荷和温度场辐射而产生弹性变形,这可能直接影响甚至破坏叶片的强度。本设计着重于自由状态和离心力载荷下转子结构的动力学分析,并研究了影响结构变化的主要因素。

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