真空泵博客

真空泵的种类,真空泵大全

真空泵该单元当前设计的组件通常配备有目标窗口模块倍频模块、透镜模块和采样模块。KP晶体透镜以其独特的激光倍频性能真空泵单元作为终端光学组件的核心组件。要求在洁净真空泵单元的超高真空环境下工作,即真空室无油类污染等碳氢化合物污染,工作精度不高于终端光学组件工作真空环境的具体要求。传统真空机组匹配真空泵中采用的润滑和冷却技术都需要一定量的润滑油、润滑脂和冷却液。当系统达到一定真空度时,由于物理扩散作用,润滑油、润滑脂等有机物质将进入真空室。即使真空机组的管道连接增加了气体捕集装置,例如液氮冷却捕集器和冷凝器,也不能从根本上防止这些挥发性有机物质进入真空室。无油真空泵(也称为干式真空泵)作为清洁真空机组的核心部件,决定了真空环境的洁净度和真空度,是主要的清洁真空采集设备。现代加工技术和分子泵设计理论在过去取得了很大的进步。为了实现真空采集设备的清洁和小型化,国外一些公司还开发了一系列由涡旋级转子和多螺旋槽牵引转子组成的复合分子泵,可以实现从高真空到大气的直接抽气,这可以视为真空采集设备发展的一个重大突破。

磁悬浮轴承技术的发展给涡轮分子泵的研发带来了新的革命。采用磁悬浮轴承的分子泵具有无润滑、高转速、低振动、低噪音等优点。有利于提高分子泵的泵送速度和压缩比,获得无油真空环境。目前,世界上涡轮分子泵的相关产品从很小到很大,小的只有1.5公斤,大的可以达到3500公斤。其中,轴系设计以使用五自由度磁悬浮支撑系统为主流。这些单位在国内外期刊和会议上发表了许多关于分子泵的有价值的学术论文,开发了一些工程上具有创新结构的分子泵,并获得了多项国内外发明专利。这些机组在分子泵方面的研究工作和成果,极大地推动了我国分子泵产品类型的发展和分子泵研发水平的提高。哈尔滨工业大学现代设计实验室开发磁悬浮轴承已有近20年的历史。先后开发了轴向磁悬浮支撑系统、五自由度磁悬浮轴承支撑的磨头等。在磁悬浮分子泵控制系统的开发方面也做了大量的研究工作。

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