真空泵厂

抽气真空泵的工作原理,罗茨真空泵的工作原理

磁悬浮轴承技术的发展给涡轮分子泵的研发带来了新的革命。采用磁悬浮轴承的分子泵具有无润滑、高转速、低振动、低噪音等优点。有利于提高分子泵的泵送速度和压缩比水环真空泵以获得无油真空环境。目前,世界上涡轮分子泵的相关产品从很小到很大,小的只有1.5公斤,大的可以达到3500公斤,其中轴系设计主要是基于使用五自由度磁悬浮支撑系统。20世纪60年代,我国成功研制了卧式涡轮分子泵,随后,叶片碾磨扭曲的立式涡轮分子泵得到了迅速发展。20世纪80年代,中国科学院北京真空物理实验室与高校合作,成功研制出双面螺旋槽盘式复合分子泵。一些单位在分子泵领域的研究工作和成果,极大地推动了我国分子泵产品种类的发展和分子泵研发水平的提高。哈尔滨工业大学现代设计实验室在磁力轴承的研发方面已经有近20年的历史。先后开发了轴向磁悬浮支撑系统和由五自由度磁悬浮轴承支撑的磨头。

磁悬浮分子泵控制系统的开发也做了大量的研究工作。目前,国内分子泵制造商主要包括沈阳科学仪器研究中心和北京科学仪器研究中心。我国分子泵生产规格齐全,基本满足国内外需求。然而,由于磁悬浮分子泵技术在我国发展不成熟,在国外保密程度较高,国内分子泵的性能远远低于国外水平。本课题还重点研究磁悬浮涡轮分子泵的设计,以实现可靠、清洁的超高真空环境。分子拖曳泵的工作原理主要来源于Gad提出的气体分子拖曳模型。根据气体分子阻力理论,矩形槽相对于平板沿某一方向快速移动,附着在矩形槽内边界表面的气体分子也沿同一方向移动。气体之间的碰撞也带动矩形凹槽内的其他气体分子运动,从而在出口两端产生不同的压力1P和2P,产生压差,实现抽真空的效果。

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