真空泵博客

螺杆真空泵工作原理图,螺杆水泵的工作原理

水环真空泵密封螺杆端型和内压缩螺杆的设计方法建立了不同类型的通道间隙及其计算模型,基于等熵流孔径流量系数法的质量流回流计算模型用于内压缩干式螺杆真空泵水环真空泵工作特性的模拟设计。针对内压缩干式螺杆真空泵开发了具有自主知识产权的螺杆型和变螺距螺杆型。本文的研究成果对于突破国外技术垄断,提高国内螺杆真空泵设计水平,丰富国内干式螺杆真空泵产品线,促进我国真空泵产业结构调整,促进我国螺杆真空泵产业健康发展,促进节能环保干式螺杆真空泵产品的应用,促进制造业节能减排具有重要的技术、社会和经济意义真空泵核心技术是螺杆齿形。不同的齿形直接决定了泵的技术性能指标的差异,如极限真空、泵送速率、容积效率、振动和噪声。螺杆的齿廓是由螺杆转子的端廓沿轴向螺旋变化形成的,螺杆真空泵转子的端廓是由圆弧、渐开线、摆线和阿基米德线形成的。

其他二次曲线由相等的曲线组成。通常,转子轮廓由啮合原理形成。它们主要分为单头转子型线和多头转子型线。螺杆转子源自螺杆压缩机的多头转子轮廓。日立早就在真空泵上使用多头螺杆转子型线,但多头转子有泄漏三角形区域,导致多头螺杆真空泵的极限真空度较低,其加工困难且成本昂贵,因此该类型螺杆真空泵的市场份额较小。为了满足市场需求,国外公司开发了具有知识产权的单头螺杆转子型材。其中,日本大黄公司等公司开发的型材由圆弧、摆线和阿基米德线组成。上述螺杆真空泵导向线不变,介质(主要是气体)在泵体内以相同的体积输送,在排气口被压缩,属于外部压缩。这种类型的螺旋式设计具有短的气体通道、气体在泵体内的短停留时间、在输送阶段没有内部压缩,并且在许多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定性。

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