真空泵博客

高真空泵机组,便携式真空泵

真空泵设备的市场份额正在增加,主要用于半导体、化学、制药和电影行业。在日本的半导体行业,传统的油封机械泵已经全部被无油干式真空泵机组所取代。在一些欧美国家的半导体行业中,超过45%的油封机械泵已经被无油干式真空泵所取代。国外市场上常见的干式真空泵主要类型有爪型、罗茨型、涡旋型、螺旋式、往复活塞式、隔膜型等。英国爱德华公司一直致力于真空泵的研发和制造,年产量近万爪和罗茨干式真空泵套,年销售额近2亿美元,主要用于半导体、制药和化工行业。日本安妮特公司每年生产8000套三叶草根干式真空泵,主要用于化工、塑料、农药等行业,干式真空泵的发展空间非常广阔。德国的普旭和赖宝、美国的妮可、日本的相原和法国的国际真空工业巨头近年来都投入了大量的人力和物力来开发和制造高端、先进干式真空泵。世界上第一个爪型干式真空泵于1985年在日本上市,并广泛用于当时迅速发展的日本半导体工业。作为最早的干式真空泵之一。

除了泵腔内无油、无介质、清洗排空后无回油干式真空泵的共性外,它还具有转子对悬浮在泵腔内、转子对与泵腔无摩擦、直接排气独立运行、高压下长期连续运行等优点。英国爱德华公司开发了干式真空泵组合罗茨转子和爪式转子,其使用罗茨泵在低压下具有更高的泵送效率,而爪式干式真空泵泵在高压下具有更高的泵送效率。基于罗茨干式真空泵和爪式干式真空泵各自的优势,开发了一种新的干式真空泵,其性能优于单个干式真空泵。中国的研究现状干式真空泵据统计,中国每年消耗价值超过1000亿美元的半导体,占全球总出货量的近三分之一。然而,中国的半导体产值仅占世界的6% ~ 7%,而且大部分仍依赖进口。如果能够实现本地化,将需要建造许多大型生产线,并且需要数十万干式真空泵个单元来满足需求。

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