真空泵博客

螺杆真空泵转子设计,高真空泵机组

干式螺杆真空泵该装置的核心技术是螺杆的不同齿形直接决定了泵的极限真空。日立公司长期以来一直在真空泵上使用多头螺杆转子型线。然而,多头转子具有泄漏三角形区域,这导致多头螺杆真空泵单元真空泵1)的较低极限真空,并且其加工困难且成本昂贵。因此,这种类型螺杆真空泵的市场份额很小。为了满足市场需求,国外公司开发了一种具有知识产权的单头螺杆转子型线,其中日本大黄公司等公司开发的型线由圆弧、摆线和阿基米德线组成。上述螺杆真空泵的导向线是不变的,介质(主要是气体)在泵体内以相同的体积输送,排气口压缩后,属于外压缩,规定了齿顶和齿根的圆弧尺寸,设计是固定的。采用这种端面轮廓的螺杆设计和制造工艺简单,但采用这种轮廓的一对螺杆与泵体之间不能形成密封腔。为了获得理想的抽吸效果,螺杆需要采用更小的导程和更多的级。1996年,描述了由阿基米德线及其对应的共轭线和凹摆线组成的螺杆端面轮廓。阿基米德线的轴向投影是一条直线,这种类型的螺杆设计。 气体通道短,气体在泵体内的停留时间短,在输送阶段没有内部压缩。它在许多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定性,但其功耗相对较高,并且排气体积大。提取率、容积效率、振动和噪声等技术性能指标差异较大。螺杆的齿廓是由螺杆转子端廓沿轴向的螺旋变化形成的,螺杆真空泵转子端廓由圆弧、渐开线、摆线、阿基米德线、其他二次曲线和其他曲线组成。一般来说,转子型线是由啮合原理形成的,主要分为单头转子型线和多头转子型线。螺杆转子源于螺杆压缩机的多头转子型线,排气脉动引起的噪声较大。这是常见的单头螺钉端轮廓。首次描述了一种对称的四段摆线螺杆端面轮廓。端面轮廓的面积形心在对称轴的中间,凹面摆线的轴向投影也近似为一条直线。阿基米德螺杆的制造过程可以用来制造螺杆。然而,从理论上讲,阿基米德共轭线不能接触牙齿的顶部或根部,需要进行牙齿修正,这对螺杆真空泵的性能有一定的影响。然而,由于早期制造技术的限制,这两种形式的单头螺钉端部轮廓被广泛使用。

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