真空泵博客

高真空泵机组,螺杆真空泵机组

真空泵根据可达到的真空度,机组可分为低真空机组、中高真空机组和超高真空机组机组,根据可用真空环境的清洁度,可分为普通真空机组和无油真空泵机组(也称为干式真空机组)。低真空机组主泵主要采用油封真空泵、水蒸汽喷射泵、水蒸汽喷射泵等。Low 真空机组的主要特点是工作压力高,排量大,但泵送速度低。大部分用于真空室的粗抽、真空输送和真空过滤装置,排出量大,工作压力高。中高真空机组通常用于获得1~10-3Pa的工作压力。该装置的主泵通常使用油扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛泵等。这些泵基本上不能通过大气,需要配备预泵或预级维护泵。一些扩散泵高度真空机组还配备了一个前级空气储罐,以防止空气压力波动并提高机组性能。通常有罗茨泵系列机械泵。这种装置的工作范围约为1 ~ 500帕。其优点是启动时间短,缺点是运行时噪音和振动大。罗茨泵的性能随着工作时间的延长而显著下降。超高压真空机组工作压力在10-3~10-8Pa以上。除了真空室气体出口率低、气体泄漏率低外,对机组的要求还包括:实际泵的极限真空较高;在超真空工作压力范围内,主泵有一定的泵速;主泵返回气体的压力应该足够低。 在选择和密封装置主泵进气口上方的管道、阀门和其他部件的材料时,应特别小心。通常使用低出风率的不锈钢和金属密封圈。具有串联扩散泵的典型机械泵(例如旋片泵)通常用于运行期间空气释放率较小的设备中。其特点是结构简单、运行可靠、成本低。其缺点是系统启动慢,预抽时间长,扩散油蒸汽容易回流到真空室。采用机械泵作为前级泵的涡轮分子泵机组是典型的超高真空系统,其极限真空可以达到两种典型的分子泵机组,即分子泵型机组。该装置的前级泵为机械泵,主泵为涡轮分子泵,分子泵为瓦里安公司的分子泵装置。机组前级泵采用涡流干泵,可实现准无油。快速启动是涡轮分子泵的主要优点。另一个优点是可以获得更清洁的真空。但是,在停机期间,一些轴承润滑油和机械泵油的蒸汽会流回真空室。为了克服这些污染,可以在进口端充入氮气以降低回油率。此外,任何进入泵体的碎屑都会损坏高速运转的涡轮叶片,这也是一个主要缺点,需要小心维护。涡轮分子泵对氢气的压缩比小,残余气体主要是氢气。泵的极限氢分压受到泵的压缩比和前级管道的氢分压的限制。采用高抽速的前级泵可以降低前级管道的氢气分压,进一步提高机组的极限真空度。

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