真空泵博客

吸附泵与前级泵的配合,罗茨泵为什么需要前级泵

真空泵机组前级泵采用F-160A牵引分子泵,主要考虑以下几点:第一,泵送容器所需的极限真空度和工作真空度能满足设计要求真空泵机组的不同泵有各自的最佳工作抽速和压力范围,主泵的极限真空度应高于泵送容器的工作真空度,以保证泵送容器的工作真空度在此范围内。申光三号航站楼光学元件所需的工作真空为PA 1018-,而作为主泵的F-150A涡轮分子泵的设计极限真空为PA 1019-,明显满足要求。其次,真空室中泵送气体的种类和比例满足真空环境的指标要求。申光三号终端光学组件在100级洁净室中组装。由于KDP晶体的物理特性和激光传输的误差要求,其内部真空环境不需要油和其他碳氢化合物的污染。因此,真空机组的要求是超高清洁真空。磁悬浮分子泵采用磁悬浮轴承作为工作轴承。与普通机械轴承和其他精密陶瓷相比,它不需要润滑油和油脂,避免了有机物对KDP晶体的污染,满足了终端元器件的真空环境要求。选择主泵类型后,应具体确定泵速。 确定主泵泵送速度的主要考虑因素主要是真空容器的容积、最大排气容积、所需的工作真空度和泵送时间。对于超高真空,泄漏和除气的影响尤其严重,因为空间气体的分子密度已经很小,任何泄漏和除气都会导致压力大幅度增加。泄漏和除气的来源主要包括表面吸附、体内扩散和逃逸、大气渗透、材料的蒸汽压以及其他相关因素。在正常过程中,主泵应及时抽走真空室中产生的气流,以保证真空室中的压力负荷和工作真空度的要求。前置泵往往直接影响主泵的泵送性能,影响泵送时间和经济效益真空系统。为了使前级泵能够及时排出由主泵排出的气流,前级泵的泵送速度和前级泵的泵送速度通常根据以下经验公式来配置。主泵和前级泵的泵速初步配置完成后,必须选择合适的前级泵型,前级泵应遵循以下原则:第一,前级泵应保证主泵排出的气流能及时排出;第二,前级泵应能使主泵出口压力低于主泵最大工作压力;第三,兼作预抽泵的前级泵应满足预抽时间的要求。

相关文章阅读

水环式真空泵的工作原理,水环式真空泵真空度是多少 水环式真空泵的工作原理,水环式真空泵 ...
水环真空泵的原理,水环真空泵选择 水环真空泵的原理,水环真空泵选择
水环式真空泵使用说明,水环式真空泵的工作原理 水环式真空泵使用说明,水环式真空泵的 ...
双级水环真空泵,实验室水环真空泵 双级水环真空泵,实验室水环真空泵
cache
Processed in 0.009429 Second.