真空泵博客

螺杆真空泵机组安装,螺杆真空泵机组

真空泵本装置所获得的设备是一种数量大、范围广的产品。根据罗茨泵的泵送机构,其原则上应该是无油的,但是罗茨泵真空泵单元的转子必须由轴承支撑并由精密同步齿轮驱动。这些轴承和齿轮都需要润滑系统。当真空系统腐蚀性气体或蒸汽被去除时,随着真空技术应用领域的不断扩大,各种真空采集设备的增长也非常迅速。为了满足真空应用发展的需要,特别是老产品的不断更新和新产品的出现,真空采集设备的发展正在进入一个新的时代。它是真空工程中不可缺少的基本部件。然而,近年来,由惯性力及其运动部件的惯性矩引起的振动一直吸引着人们的注意。例如,美国KINNEY公司开发的三缸结构滑阀泵可以实现滑阀组件的自平衡,降低泵的振动和噪音。三缸内部平衡的结构设计可使滑阀泵直接安装在任何地面或支撑其重量的支架上,无需地脚螺栓或特殊基础。 从而极大地方便了用户的使用。另一个例子是罗茨泵在清洁或腐蚀过程中的应用。在半导体、平板显示器、薄膜太阳能电池和其他具有非常苛刻工作条件的化学和制药工业中,真空机组主要由罗茨真空泵和干式真空泵组成。一方面,可以减小干式泵的尺寸,可以提高单元在中等真空范围内的泵送速度,另一方面,可以将极限真空提高一个数量级。其特点是减少泵的振动和噪音,提高长期运行的可靠性,处理大量的可冷凝和挥发性气体,降低能耗和运行成本,消除废液处理和环境污染。它需要耐腐蚀、防尘和清洁、无油的真空环境。根据上述要求,真空采集设备制造商被迫不断改进旧产品的特性。如果滑阀泵具有泵速高、性能稳定、经久耐用的特点,润滑油也会受到腐蚀。美国Tuthill 罗茨泵有一个五点机械密封(KMBD系列),也就是说,除了电机输入端的机械密封,其他四个机械密封用作泵室和油箱之间的密封。这种全机械密封罗茨真空泵特别适用于工艺气体具有高度腐蚀性的应用。为了防止腐蚀,与工艺气体接触的罗茨泵中的所有表面都应进行涂层(Ni0.076mm Cr0.005mm),并且所有密封材料应为全氟橡胶。

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