真空泵博客

滑阀真空泵,真空泵原理

水环真空泵在泵的泵送流道中,不需要使用任何油或密封液体作为介质,由可动涡盘和固定涡盘的相对旋转形成的吸入室和压缩室将排出泵送的气体,从而连续完成吸入、水环真空泵压缩和排出过程。因此,如何防止泄漏和解决密封问题尤为重要。涡旋泵的密封主要包括轴向啮合间隙的径向密封,即图1所示的齿顶密封,以及径向啮合间隙的切向密封,即齿侧密封的齿顶密封由顶密封解决。动盘和静盘的齿顶面设有渐开线螺旋槽。螺旋槽内嵌有特殊材料密封条,密封条相对于涡盘周向滑动。由于无油操作,密封条要求耐磨、耐高温和抗蠕变。其材料、尺寸和位置对于泵的长期成功运行至关重要。 齿侧密封是气室和与大气隔离的密封之间的密封。通常齿侧密封被认为是决定涡旋泵泵送性能的主要因素之一。对于齿侧密封,当泵达到工作温度时,需要修正涡环的壁厚,选择最佳工作间隙,使啮合间隙最小,从而达到密封的目的。这也是保证泵最终真空度的必要条件。由于动、静涡盘在工作时会产生热变形,且变形量不同,最小旋转间隙会随工况变化。过大的间隙会导致难以达到极限真空度。过大的间隙会导致涡盘之间的摩擦甚至堵塞,导致温度急剧上升,涡盘壁面被破坏,泵卡死。因此,间隙尺寸的确定对设计者来说是一个挑战。齿顶密封和齿侧密封是涡旋泵性能的保证。特别是,它在泵的最终真空中起着决定性的作用。极限真空度指标对涡旋泵的性能至关重要,这是涡旋泵难以掌握和达到的。

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