真空泵博客

真空泵机组的工作原理,高真空泵机组

真空泵单元涡旋泵已广泛应用于半导体行业的许多领域: :薄膜制造设备和半导体器件封装设备;(2)科学仪器行业:同步辐射束机、电子显微镜、真空泵极光测试设备和分析测试设备;(3)机械设备行业的:备料设备、真空检测设备、真空过滤设备、物料净化设备和超高真空排气设备;(4)医疗器械行业:台牙科器械和透析机;生物制品工业中:材料的提纯和药物的制备;(5)包装行业:食品、药品、生物制品等包装设备; :真空炉、纳米材料制备设备、真空检测设备等真空冶金行业领域。旋涡泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵,是获得无油真空系统的最佳配置。其主要运动部件只有一个动涡旋,动力传递简单,运动半径小,部件数量少,结构简单紧凑,整机体积小,动涡旋与静涡旋之间、动盘与泵腔之间的间隙小,泵内的运动部件与泵腔无摩擦,几乎无磨损, 运行稳定,功耗小,气体流量损失小,工作可靠性高,使用寿命长,易于维护,维护成本低,体积效率高。 采用空气冷却,不采用水冷。

涡流真空泵具有高压缩比和在宽压力范围内稳定的泵送速度。因为压缩室的体积变化是连续的,所以驱动扭矩变化小,功率变化小,并且振动噪声低,这在其他类型干式真空泵中是不可获得的。为了实现涡旋泵的有效运行,有必要使涡旋轮廓在每个真空室中很好地啮合,以避免涡旋壁应力的恶化、热变形、排气室中一部分高压气体的滞留以及由于诸如真空室中的大压差的因素而导致的效率降低。因此,必须保证涡旋型面之间的精确包容和啮合,控制工作介质的泄漏,达到抽气的目的。这是旋涡泵结构设计的重要依据。在泵的泵送流道中,不需要使用油或密封液体作为介质,由可动涡盘和固定涡盘的相对旋转形成的吸入室和压缩室排出泵送的气体,从而连续完成吸入、压缩和排出过程。因此,如何防止泄漏和解决密封问题尤为重要。涡旋泵的密封主要包括轴向啮合间隙的径向密封,即图1所示的齿顶密封,以及径向啮合间隙的切向密封,即齿侧密封。

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