真空泵博客

滑阀真空泵,涡旋真空泵动画演示

漩涡水环真空泵的研究始于20世纪80年代末。1988年,日本东京大学的盛世泰开发了一种泵速为200升/分钟的立式自旋转油润滑涡旋水环真空泵。与阳旋转涡旋真空泵相比,泵的径向间隙具有易于密封和控制的优点。与旋片泵相比,涡旋泵具有更高的容积效率,并且泵内的振动和噪声水平降低。此外,由于结构更加紧凑,整机重量和体积分别减少了12%和40%。盛世泰的研究显示了涡流真空泵的高效率,并提出了消除间隙体积和控制间隙的有效方法。随着涡旋真空泵在半导体工业中的应用越来越多,人们开始致力于涡旋真空泵的研究。干式涡流真空泵与油润滑涡流真空泵的不同之处在于泵室不含任何油或液体。因此,解决泵的密封和冷却问题是研究干式旋涡真空泵的关键。1990年,KushiroT开发了一种水平干式涡流真空泵,泵送速度为600升/分钟。 泵能达到的极限压力为5 10-3T。它使用水冷却来解决泵中各种部件的润滑和冷却问题。KushiroT的研究表明了干式涡旋真空泵的可行性,也有效地解决了动静盘热变形引起的相互接触问题和离心力引起的盘振动问题。尽管水冷可以有效地解决干式涡流真空泵的冷却问题,但冷却水回路的布置使其结构更加复杂。圆盘采用双面涡环结构,主轴上有两个冷却风扇,分别位于两个静圆盘的端部。主轴旋转时,带动风扇一起旋转,达到对涡盘的冷却效果。同时,采用半封闭结构,解决了电机的冷却问题。2001年,中国东北大学和中国科学院沈阳科学仪器研究中心联合开发了这种干式涡旋真空泵,并于2003年初通过了国家真空设备质量检测中心的鉴定。此外,中行公司还引入了一个由空气冷却的干式涡流真空泵。该泵采用全封闭结构。涡流板为单侧涡流环结构,冷却风扇安装在静止板的端部。

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