真空泵博客

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水环式真空泵爪形泵的工作过程表明,当两个爪形转子从(A)转到(B)时,腔室A中的气体被压缩和排出,腔室B的容积变大,抽吸正在进行水环式真空泵。当转子旋转到(C)时,空腔C的体积最小,空腔B的体积最大,即吸气结束。爪式泵转子形状复杂,加工困难,动平衡麻烦,需要多级串联才能获得较大的压缩比。目前,该泵的极限压力为1 ~ 10pa,泵送速度为2 ~ 50l/s。北京樊玲真空技术有限公司生产的爪式泵的型号和技术参数螺旋无油机真空泵的转子型线比螺杆泵的转子型线简单,一般为单端矩形螺旋,可采用等螺距或变螺距转子。这种泵有立式和卧式两种结构,泵送原理相同。 泵送气体从泵口进入泵室,并被泵室内高速旋转的转子压缩。螺旋密封形成在具有矩形横截面的转子之间以及转子和泵室之间。间隙小,泄漏小,并且可以获得更高的压缩比。由于螺旋圈数多,有两种涡旋泵的压缩比比螺杆式无油泵高。一种类型是一个卷轴是固定的,另一个卷轴围绕它旋转并平移,但不能旋转,这是一种公共转换。另一个是两个涡旋绕着它们自己的轴在同一方向同步旋转。两个漩涡都在绕漩涡旋转。大多数公共泵是双室卧式泵。传统的泵选择方法是根据过程中所需的真空度选择泵的类型,根据排量选择泵的泵速。然而,在真空电子技术领域的选择真空泵还应该考虑环境清洁、工艺过程、反应气体的类型、反应产物的粒度等问题。以选择无油机械真空泵为例。如果反应产物含有颗粒,则不应选择表面接触式泵。

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