真空泵博客

真空泵机组厂家,真空泵机组的工作原理

真空泵对于单级泵,由于间隙处的泄漏,实际泵送速度低于理论泵送速度,罗茨泵回流,真空泵机组通过转子之间的径向间隙、转子和泵壳之间的径向间隙以及转子和泵壳之间的轴向间隙从排气侧回流到进气侧。假设pA是吸入压力,pV是排出压力,而C是间隙的总传导率,罗茨泵有效吸入量Qeff可以从理论吸入量Qth和通过间隙从排出侧到吸入侧的返回量Q之间的差来确定。 当使用增压泵时,此时粘性流动间隙回流占主导地位,忽略吸附在转子表面的回流和有害空间中的气体回流。将间隙视为一个薄壁孔,并计算其粘性流导[9] c=200a (m3/s) (18),其中a是间隙的总面积。在这种工作条件下罗茨泵,气体温度远高于室温。由于泵室内有水冷系统,取气时的温度为60。间隙的总面积A由以下部分组成:转子-泵壳间隙1、转子-转子间隙2和转子-泵壳侧壁间隙3和4。经计算,三轴罗茨泵的零流量压缩比为K0=8.4,双轴罗茨泵的零流量压缩比为K0=6.1。

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