真空泵博客

真空泵机组的工作原理,螺杆真空泵机组

真空泵单元是一个无内部压缩的旋转可变容积真空泵单元,由罗茨鼓风机发展而来。真空泵单元目前已在真空系统中广泛使用。由于在较宽的压力范围内泵送速度较大,且泵腔内没有油,所以它仍广泛应用于半导体、光伏、电子、石油、化工等行业。随着新兴产业的蓬勃发展和传统产业的升级。 真空泵机组的研发需要向高效、高集成度、节省空间、智能化和高可靠性方向发展,以满足不同工艺的需求。三轴罗茨真空泵单元基于传统的两轴罗茨真空泵单元。一组从动转子集成在主动转子轴的两侧,两侧同时进行吸气或排气的工作过程。与双轴罗茨泵相比,它具有力平衡、运行稳定、泵速大、噪音低、零流量压缩比高等优点。本文详细介绍了这种三轴罗茨真空泵机组的泵送过程和工作原理,并给出了典型四叶片圆弧转子的型线方程。通过理论推导和有限元分析,对三轴罗茨转子轴进行了强度分析和变形仿真,并与双轴罗茨真空泵机组进行了对比。

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