真空泵博客

旋片式真空泵和水环式真空泵,水环式真空泵2bec72

水环式真空泵在一般工艺中的应用(1)N2清洗N2清洗的目的是稀释真空泵内部的反应气体;水环式真空泵为泵的旋转轴提供密封;可以根据需要调节防止真空泵排气口渗透空气和湿气的N2清洁的气体量。(2)装有冷阱的冷阱通常安装在真空泵的吸入口和排出口,以减少渗透到泵中的反应产物的量,减轻真空泵的负担;减轻废气处理的负担。 根据反应产物在过程中的差异进行温度控制,为了防止它们粘附在泵上,原料的排气口硅酮系统(TEOS)在没有油的机械真空下处于液态,TEOS与反应副产物混合形成凝胶并堵住真空泵排气口,这时应在排气口上加一个冷阱。用等离子体化学气相沉积法制备绝缘膜时,TEOS反应副产物以白色粉末形式通过真空泵,因此应选择非接触式真空泵。使用NF3、C2F6、ClF3等将清洁气体与上述反应副产物结合。以形成另一种对真空泵具有不利影响的副产物,并且可以通过此时降低真空泵温度来解决。

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